丰泽区市场监管局查处3起

春节期间酒店未履行价格承诺典型案例

　　01丰泽区某六酒店涉嫌价格违法案

　　近日，丰泽区市场监管局收到线索，反映位于侨乡体育馆附近的某六酒店春节期间住宿房价涨幅较大，涉嫌价格违法。执法人员调取该酒店近三个月订单及春节期间预订订单数据，经核算，该酒店“简雅大床房”近三个月均价为158.64元/晚，春节期间平台预订价格高达500元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价，未履行其作出的价格承诺。当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第（四）项“经营者不得有下列不正当价格行为：（四）利用虚假的或者使人误解的价格手段，诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第（五）项“经营者不得实施下列价格欺诈行为：（五）无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定，丰泽区市场监管局予以立案查处。

　　02丰泽区某曼酒店涉嫌价格违法案

　　近日，丰泽区市场监管局收到线索，反映位于宝洲街附近的某曼酒店春节期间住宿房价涨幅较大，涉嫌价格违法。执法人员调取该酒店近三个月成交订单及春节期间预付订单数据，经初步核算，该酒店“特惠单人房”近三个月均价为88.93元/晚，春节期间平台预订价格高达543元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价，未履行其作出的价格承诺。当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第（四）项“经营者不得有下列不正当价格行为：（四）利用虚假的或者使人误解的价格手段，诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第（五）项“经营者不得实施下列价格欺诈行为：（五）无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定，丰泽区市场监管局予以立案查处。

　　03丰泽区某朵酒店涉嫌价格违法案

　　近日，丰泽区市场监管局收到线索，反映位于浦西万达附近的某朵酒店春节期间住宿房价涨幅较大，涉嫌价格违法。经查，该酒店“几木套房”春节期间平台预订价格高达2277元/晚。根据当事人提供酒店近三个月平台订单数据，经核算，该房型近三个月均价为841元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价，未履行其作出的价格承诺，当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第(四)项"经营者不得有下列不正当价格行为：(四)利用虚假的或者使人误解的价格手段，诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第(五)项“经营者不得实施下列价格欺诈行为：(五)无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定，丰泽区市场监管局予以立案查处。

　　随着AI应用普及和OpenClaw爆火，算力服务市场进入涨价周期。阿里云、腾讯云、百度智能云等主要云服务商相继宣布上调AI算力及相关服务价格。

　　云服务商纷纷宣布涨价

　　3月18日，阿里云官网公告，因全球AI需求爆发、供应链涨价，行业核心硬件采购成本显著上涨。经审慎评估，阿里云决定将于4月18日起对AI算力、CPFS（智算版）等服务价格进行调整，其中平头哥真武810E等算力卡产品上涨5%~34%，文件存储产品CPFS（智算版）上涨30%。

　　同日，百度智能云发布公告，自4月18日起对AI算力、存储等产品调价，AI算力相关产品服务上涨约5%~30%，并行文件存储等上涨约30%。

　　本月稍早前，腾讯云已提前对部分模型价格调整，自3月13日起对混元系列模型进行涨价，部分核心产品涨幅高达400%。三大头部云厂商的集体动作，拉开了全行业涨价潮的序幕。

　　今年以来，海外主要云服务商也纷纷上调核心产品价格。1月22日，亚马逊宣布对用于大模型训练的EC2实例实施15%的价格上调。1月27日，谷歌云宣布将对数据传输服务、AI和计算基础设施等服务进行价格上调，最高涨幅达100%。

　　国产模型Token调用量激增

　　国产大模型竞争力持续提升，在全球流量争夺中实现历史性反超。

　　AI模型聚合平台OpenRouter数据显示，中国大模型2月9日至15日单周调用量达到4.12万亿Token（词元），首次超过美国模型的2.94万亿Token。

　　紧接着2月16日至2月22日这一周，中国大模型的周调用量进一步冲高至5.16万亿Token，三周内增长了127%，而同期美国模型调用量跌至2.7万亿Token，标志着国产大模型在全球开发者生态影响力取得了实质性突破。

　　国产模型的流量增长呈现出“集群式”爆发特征。OpenRouter数据显示，OpenClaw成为国产大模型的重要流量入口，截至3月18日，Step 3.5 Flash、MiniMax M2.5在OpenClaw近一个月调用总量居于前二，使得这两个模型展现出强劲的竞争力，在近一周平台整体应用榜单中同样位居前二。MiniMax近期发布的业绩公告显示，2026年2月的数据对比2025年12月，M2系列日均Token消耗量增长超过6倍。

　　国金证券研报认为，2026年将是中国算力需求从“云端训练”向“训练+推理”双轮驱动转型的关键之年，算力缺口将在更多模态和更广场景的催化下，极速释放。C端流量与AI漫剧、编程等原生场景爆发，叠加B端垂类模型蓄势，共同驱动实时推理算力消耗大幅增长。

　　20只算力租赁股业绩增长

　　3月18日，A股算力租赁板块大幅上涨，美利云、云赛智联、数据港、奥瑞德等个股涨停，光环新网、青云科技-U、优刻得-W等涨幅超过10%。

　　随着算力需求爆发，算力租赁企业盈利能力显著增强。据证券时报·数据宝统计，目前已有32只算力租赁概念股公布2025年度业绩相关数据，按年报、业绩快报、业绩预告下限顺序统计，20只概念股实现业绩增长，其中7股预计实现扭亏为盈，8股净利润同比增长，5股实现减亏。

　　新易盛、润泽科技、中际旭创3只行业龙头股增幅位列前三。新易盛业绩预告显示，预计实现归母净利润94亿元~99亿元，同比增长231.24%~248.86%。公司表示，受益于算力投资持续增长，高速率产品需求快速提升，公司预计销售收入和净利润较上年同期大幅增加。

　　润泽科技业绩预告显示，预计实现归母净利润50亿元~53亿元，同比增长179.28%~196.03%，主要系成功发行公募REITs产生的非经常性损益所致。2025年8月，南方润泽科技数据中心REIT在深交所成功上市，发行规模45亿元，系全国首批、深交所首单数据中心REIT。公司实现扣非净利润同比增长5.71%~11.33%，主要系人工智能行业高速发展叠加公司业务布局持续突破，AIDC业务实现跨越式发展，推动收入与利润同步提升。

　　从资金面上来看，近期部分算力租赁股获融资资金加仓，3月以来，8股融资净买入金额超过1亿元，拓维信息、科华数据、新易盛居前，分别达到5.8亿元、3.01亿元、2.56亿元。

　　东财图解·加点干货

（文章来源：数据宝）

体验一次对漫威早期游戏遗产最全面的回顾。本合集汇集了街机与家用主机上的每一部主要作品，带您踏上一场精心策划的旅程，透过像素画面领略1990年代漫威宇宙的演变历程。

欢迎来到典藏库。Limited Run Games 自豪地呈现这场对漫威早期游戏遗产最全面的回顾之一。本合集收录了街机、8-bit、16-bit 及掌机平台上的每一部主要作品，带您踏上一场精心策划的旅程，透过像素画面领略1990年代漫威宇宙的演变历程。这不仅仅是一款游戏——它是一段历史的切片，为终极粉丝而保留，融入了现代特性与追加内容。

体验横跨多个平台的每一次像素化重拳、每一次蛛网摆荡和每一次光学冲击。我们没有仅仅挑选某个最受欢迎的版本——每一部主要的家用机和街机迭代作品都包含在内。无论你是握着手柄长大，还是口袋里揣着游戏代币长大，《MARVEL MaXimum Collection》都是对忠实粉丝的终极致敬。

　　11月2日，合肥市少年儿童图书馆开展了“童趣艺术坊：非遗韵·蓝染”活动，同学们现场制作蓝染方巾，一扎一染，一蓝一白，邂逅蓝染艺术，传承非遗技艺。

　　“撷撮采线结之，而后染色。即染，则解其结，凡结除皆原色，余则入染矣，其色斑斓。”蓝染是中国民间传统而独特的染色工艺，承载着深厚的文化底蕴和独特的艺术魅力。

　　活动当天，学生们在在听完老师关于蓝染的介绍后，发挥想象力，选择不同的扎绑手法，开启自己的蓝染之旅。

　　同学们发挥了自己的设计创意。有的同学用了梅花绑扎法，将布料一点点缝起来，仔细打一个结，紧紧地扎起来；有的同学尝试了向日葵捆扎法，将布料如同折纸般折叠，再把木棍放进去，用夹子夹紧。

　　从铺叠捆扎，到染色晾干，在老师的耐心指导下，原本普普通通的布料被制作成一幅幅独一无二的扎染作品。(记者 夏伟)

全国人大代表吴劲：创新是滁州高质量发展的最大底气

说起滁州，大家可能最先想到欧阳修的《醉翁亭记》。在2026年全国两会期间，全国人大代表、滁州市委书记吴劲在接受采访时，以一组亮眼数据展现这座千年古城的新形象。

“十四五”时期，滁州市新签约、新开工、新竣工亿元以上项目分别超2300个、2100个、1600个；同时，科技型中小企业、高新技术企业数分别增长6.2倍、1.7倍；省级先进制造业集群数全省第一，在全省率先实现县域特色产业集群全覆盖，高端装备制造、先进光伏和新型储能、智能网联新能源汽车、绿色食品加工4个产业产值均超千亿元……

“滁州，现在是靠创新‘闯’出了一条高质量发展的新路。”吴劲坦言。

滁州地处合肥、南京两大都市圈的交汇点，左右逢源的同时也面临“不进则退、慢进也是退”的竞争压力。近年来，滁州坚持以创新开路、靠创新破局，以创新思维答好省委“创新之问”。吴劲开门见山：“我们认准一条：唯有创新，才能突围。”

把创新摆在发展全局的核心位置，滁州这几年下了真功夫。

吴劲用数据说话：全市研发投入从2020年的53亿元，增加到2024年的104.6亿元，四年实现翻番，增速连续保持两位数增长。

真金白银的投入，换来实实在在的成效——国家创新型城市排名跃升至全国第64位，中国城市创新能力排名第69位，经济总量站稳全国百强，综合实力居中国百强城市第75位，较“十三五”末前进15位。

“创新不是空中楼阁，得落到产业上、落到企业里。”吴劲说，滁州连续五年“新春第一会”聚焦“双招双引”，坚持不懈抓项目、聚人才、兴产业。

所以，在滁州，创新的主角是企业。

吴劲如数家珍地讲起几个故事：捷泰新能源专注钙钛矿电池技术研发，电池片中试转化率做到33.53%，全国领先，眼下正攻关“太空光伏”，要让电池上太空；南大光电攻克半导体材料领域多项“卡脖子”难题，多款电子特气和前驱体实现产业化；金禾实业与中国科大在营养品和食品配料领域深度合作，产品竞争力全球领先……

“目前全市有21家企业的核心技术国际领跑，51家国际并跑，73家国内领跑。”吴劲说。

面向未来，滁州的创新蓝图愈发清晰。

“我们正在加快建设‘双圈科创联动之城’——西边对接合肥，东边融入南京，让长三角的创新资源在滁州流动起来、聚起来。”吴劲说，滁州将发挥多重国家发展战略叠加优势，嵌入式链接长三角创新资源，主动对接上海（长三角）国际科技创新中心建设，深度融入长三角科创共同体和沿沪宁合武产业创新带建设。

到“十五五”末，滁州的目标很明确：地区生产总值奋力冲刺6000亿元，力争跻身全国城市80强，人均地区生产总值达2万美元，工业总产值突破1万亿元大关，主城区人口超过100万人。

“这是我们一步步干出来的底气。”吴劲说，滁州将以“开局即决战、起步就冲刺”的劲头，抓紧抓实各项工作，推动高质量发展加快往前赶，奋力在谱写中国式现代化安徽篇章中勇挑大梁、多作贡献。

        方璐表示，汕头作为经济特区，在国家政策的支持下，正迎来新的发展机遇。太平洋建设将积极践行“进汕头门、做汕头人、说汕头话、办汕头事、尽汕头责” 的主人翁精神，充分发挥“资源、智慧、资本”优势，全力服务汕头、建设汕头，为汕头社会经济全面发展贡献力量。

        赖小卫对太平洋建设的口碑、实力给予充分认可。他表示，当前汕头正积极落实国家和广东省发展战略，全力推进“工业立市、产业强市”的总体思路，各区均以高规划建设标准完善园区基础设施配套，对基础设施建设的需求日益增长，为企业提供了广阔的发展空间。希望双方进一步加强沟通对接，以稳定的合作形式深度参与汕头基建项目投资建设，为汕头经济高质量发展增添强劲动力。

        湾区建设二十一集团董事长李健、总经理王勇参加会谈。（文/湾区建设）

　　日前拍摄的芜湖市繁昌区孙村镇境内的山川景色。 通讯员 钱 鸣 张敏娟 摄

　　近日，在泾县昌桥乡景山村上拐涝山林场，林场养护人员正在进行杂草拔除作业。

　　“去年我们人工造林700亩，林产品培育3800余亩，仅林产品培育和销售两项收入就达635万元，全部享受了免征企业所得税的政策红利。”泾县国有林业发展有限责任公司财务负责人程建介绍。作为全省首个国有林业发展有限责任公司，企业在林业生态保护修复上持续发力。

　　“我们将节省下的资金用于森林生态科普研究基地和林业生态修复，仅今年上半年就新增人工造林600亩。”程建说。随着企业发展得越来越好，雇佣的周边村民也增加到150余人，带动村民年增收230余万元。

　　为了扶持林农企业发展，支持社会资本投资林业，去年底我省出台的《支持社会资本参与林业发展若干措施》明确对林（农）业专业大户、家庭林（农）场、农民林（农）业专业合作社自产自销的林下种植、养殖和特色经济林产品，符合相关规定的，免征增值税。直接用于林业产业发展的生产用地按规定免交城镇土地使用税。对各类市场主体从事林业生态保护修复、生态旅游和森林康养等项目所得，符合相关规定的，免征企业所得税。

　　走进临泉县四方红农业科技合伙企业山核桃种植基地，5万亩薄壳山核桃林连绵成片、郁郁葱葱。“我们是一家以种植薄壳山核桃树为主的农林复合型企业，碧根果食品系列产品也已经研发成功，薄壳山核桃暨碧根果深加工（二期）项目将于10月建成投产，预计年产值可达33亿元。”企业负责人方谨介绍道。今年年初，该企业成功入选第五批国家林业重点龙头企业名单。

　　在方谨看来，企业走上快速发展道路，税务部门的帮扶功不可没。“为了进一步增加土地收益，我们探索实施‘林粮融合’模式，在林下种植小麦、大豆等粮油作物，税务部门得知后主动提醒我们可以享受自产自销林下种植农产品的税收优惠，仅仅是今年上半年就免征了增值税75.28万元。”方谨表示，企业发展至今，累计已经享受了各项税费优惠464万元。

　　在企业发展过程中，临泉县税务局聚焦林企涉税需求，针对性梳理涉林政策“礼包”，为各级林业重点龙头企业一对一配备“税务管家”，主动上门提供个性化服务，用税惠政策的“滋养扶持”和纳税服务的“精准滴灌”助力打造地方特色林业百亿产业，全力推动林业产业高质量延链升级。

　　为了促进生态保护和绿色发展的有机统一，我省税务部门充分发挥绿色税制激励作用，对各类市场主体从事林业生态保护修复、生态旅游和森林康养等项目所得，符合相关规定的，免征企业所得税。同时，组建税务专家服务团上门送服务，帮助企业轻松享受政策红利，让节省下来的资金投入到生态保护工作中。

　　明光市远景苗木有限公司是一家专门从事苗木种植销售的公司。今年以来，该公司享受增值税减免218万元。该公司负责人刘家林深有感触地说：“我是一名来乡村创业的外地人，一系列涉农税费优惠为我们发展提振了信心。”如今，该公司利用减免的税款投入到技术升级和专业化生产之中，精品苗木生产规模不断扩大，经济效益显著提升。

　　为助力涉林企业发展，明光市税务局成立“明税青锋”助林小分队，来到田间地头，为种植户、企业、合作社等讲解税费优惠政策、答疑解惑、辅导操作，落实落细林业生产者自产自销苗木等产品免征增值税等各项涉农优惠政策，助林企转型升级。

　　在税收优惠政策的支持下，明光市自来桥镇芳甸园农民专业合作社的发展势头也越来越好。“本地育苗成本费用低、经济效益高，今年招聘的员工增加了一倍。前几天，税务部门还到合作社给我们辅导宣传优惠政策，今年我们合作社共减免增值税9.9万元。”该合作社负责人李建欣高兴地说。

　　“我们将继续不折不扣落实税费优惠助力乡村振兴，精准聚焦林农需求，在种植户、种植业合作社、种植业生产企业的政策宣传落实上下足功夫，为林业企业提供配套服务。同时，我们持续深入打造‘家门口’税务局，满足乡镇地区涉税费需求，用更优惠的政策、更精准的服务、更便捷的办税体验助农兴农。”明光市税务局党委书记、局长姜培忠说。

　　安徽省税务局有关负责人表示，将充分发挥绿色税制在生态保护、绿色发展中的积极作用，落实落细税费支持政策，在提升税收治理能力、服务生态文明建设方面持续发力，以税力量保护绿水青山、守住金山银山。

　　（记者 汤 超）

　　北京时间1月9日消息，央视推出反腐大片《持续发力 纵深推进》，片中披露了足球领域腐败案细节，国家体育总局原副局长杜兆才、足协原主席陈戌源、国足原主教练李铁在镜头前忏悔自己所犯下的过错。

　　节目一开始，中央纪委国家监委第二监督检查室主任严维耀就表示：“足球领域出现了系统性、塌方式腐败，纪检监察机关重拳出击，不敢、不能、不想一体推进，惩治力度前所未有。”

　　李铁是本次专案第一个接受监察调查并被留置的人员，事实证明，这个切入点的选择是非常精准的。中央纪委国家监委驻国家体育总局纪检监察组副组长丁进田透露：“作为中央纪委国家监委的派驻机构，我们组立足职责定位，在发现李铁的以权谋私的问题以后，我们一方面严肃查处，一方面我们想以此为突破口发现中国足球存在的根本性问题，回答广大球迷中国男子足球为什么上不去的疑问，从而推动中国足球健康发展。”

　　湖北省纪委监委工作人员罗氚表示：“李铁之所以能够成为国家队主教练，是因为先后带领两支中甲球队成功冲入中超，这一成绩对他的行业地位实际上是起到了很好的作用的。但事实上李铁两次带队升入中超，背后都是大量的假球。”

　　原河北华夏幸福俱乐部董事长孟惊透露：“我们公司的文化叫千方百计实现目标嘛，所谓的千方百计就包括一些不正当的手段。就希望尽快地能拿到好的成绩，能对公司的品牌有影响。”“最后一场比赛，我们大体上花费了1400万元，当时是跟深圳队俱乐部、主教练还有球员，都打了招呼。”

　　李铁则在镜头前说道：“我做球员的时候最憎恨的就是踢假球的人，但是因为我知道这些可能会能帮助我们球队增加(冲超)几率，第一次独立成为一个球队的主教练，所以也是有特别想证明自己的这种心态。”

　　那场比赛李铁授意助教郑斌，联系上了郑斌在深圳队的老乡，主力后卫黎斐。郑斌透露：“我们的实力其实应该是超过它(深圳宇恒)的，就是正常打就能赢，但是就想去弄一些这种方式可以做到百分之百赢，大家就是对这个结果太看重了。”

　　黎斐开价600万元，表示会帮他们“打点”多名关键球员，讽刺的是，如果不是这次调查，没人会知道这600万黎斐其实是自己独吞了。黎斐透露：“其实我也没找人，因为当时不管是天时地利人和来说，他们都占优，我们当时客场，又是刚保完级，心已经散了，就想着最后一场，大家都不受伤，能把最后一场比赛踢完我们就放假了。”

　　李铁继续说道：“用这种不正当的方式获得了“成功”，实际上就会让自己变得越来越急功近利，为了要取得成绩，找裁判做工作，收买对方球员、教练，有的是俱乐部找俱乐部的这种方式，变成了一种习惯，甚至到后来有一点点依赖。”

　　而当李铁出任武汉卓尔队的主教练时，原卓尔俱乐部董事长田旭东就表示自己接触假球就是李铁找的自己。

　　足球领域假球盛行，中国足协作为监管者却放任不管，原足协主席陈戌源在镜头前说道：“我自己也收了俱乐部的钱，我就不会去抓这种风气，因为你去抓这个风气，那不是你自己抓自己吗，所以对这种现象事实上就基本上应该是放任了。”

　　值得一提的是，在陈戌源上任前一晚，他就收到了地方足协负责人送来的60万“拜码头”的钱财。陈戌源表示：“到我房间里来，把双肩包往我沙发上一放，说陈主席恭喜你、祝贺你，希望能够多关照，然后我说什么东西，他说老规矩了，我们都这样。”

　　除了陈戌源，国家体育总局原副局长、中国足协原党委书记杜兆才也同样公器私用，“靠体育吃体育”、“靠足球吃足球”，杜兆才表示：“自己也没有当好中国足球反腐斗争的一个“守门员”的作用，在俱乐部老板的利益的“围猎”当中，实际还是主观原因，没有加以严格地控制，有些随波逐流了。”

　　李铁还透露，自己为了当上国家队主帅，同样托了关系：“因为我太想成为国家队的主教练了，所以就想了很多办法，找了很多人去请托，找了足协的领导，能够帮我来说好话，能够推荐我。”他一方面游说卓尔俱乐部出钱帮他做工作，表示如果自己能“上位”，也会在多方面回报俱乐部，俱乐部为此拿出200万元向陈戌源行贿。另一方面，李铁觉得时任足协秘书长刘奕也颇具话语权，于是又自掏腰包送给刘奕100万元。

　　对此，陈戌源表示：“俱乐部给我送钱，跟我推荐，他说陈主席李铁这个人不错，国家选拔队主教练(职务)为他的未来能够创造一个机会，创造一个平台。” 刘奕则透露：“(李铁)约我聊天，谈国家队建设的问题，那个时候趁这个机会给了我钱。他说希望秘书长你要多支持，我说没问题，铁子我肯定支持你。”

　　在当上国足主帅之后，李铁还与卓尔俱乐部进行了私下交易，他与卓尔签下了6000万元的合同，将4名俱乐部球员选进了国家队。对此，田旭东就表示：“那天看到那个国家队名单，我脸是发红的，什么意思呢，我知道我们球员的能力，进不了，一个都进不了。”

　　现如今的李铁在镜头前忏悔道：“我是非常后悔的。还是要踏踏实实的，也要走正路，不要急功近利，不要想尽一切办法去走捷径。”

　　陈戌源略带哭腔地说道：“球迷可以包容中国足球，但是不能原谅腐败，我作为中国足协主席来说，我负主要责任，我想深深地向全国球迷，真的要谢罪，我错了，我自己真的认为我自己错了，我非常后悔，没有后悔药可以买，如果有后悔药可以买，我愿意用我的生命把它买回来，我也不会再去干这种事情。”

　　(文章来源：搜狐体育)

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　90vs体育讯 北京时间1月19日，据《济南时报》报道，山东泰山主场对阵川崎前锋的亚冠1/8决赛首回合开球时间进行了调整。

　　山东泰山与川崎前锋的亚冠1/8决赛两回合比赛，分别于2月13日和2月20日进行，根据此前亚足联公布的信息，首回合泰山队主场的开球时间初定于2月13日20点。

　　鲁媒透露，首回合2024年2月13日(周二)山东泰山vs川崎前锋开球时间从20:00改到18:00。